다양한 소재 및
다양한 형상에
적용 가능

조작이 쉬운
프리커서
이베퍼레이터
사용

SiOx, SiNx,
TiOx, TiNx, AlOx,
투명전극(TCO)
등을 제조

유기박막
코팅 가능

자가 진단 기능이
적용되어 매우
안정적인 대기압
플라즈마 사용

외부 기기와
인터페이스 및
리얼타임 플라즈마
모니터링

최적화된 파워
서플라이, 고주파
트랜스포머 및 플라
즈마 하드웨어 적용

연속 동작 및
ON/OFF
동작 가능